0.01mm分解能、ストローク約1400mm

●X,Y軸のストロークが約1400mmの 　大平面走査が可能 ●自由自在にコントローラ、 　パソコンからGP-IB制御が可能 ●リニアポジショナ（Z軸） （オプション）を取り付けることにより、 　自動3次元測定が可能 　　　　　　　　　　　　　 　対応コントローラ

　　■主な仕様

	X軸・Ｙ軸
移動スピード	3〜150mm/sec（10%〜100）
分解能	0.01mm
位置決め精度	0.05mm+L×０．０００３mm (Lは移動範囲です。）
繰り返し位置決め精度	±0.05mm
反転位置決め精度	0.05mm
移動距離 （Maxストローク）	1３８０mm
搭載許容質量	90kg・15kg
ハードリミッド	有
駆動方式	リニアガイド方式
質量	約145kg・約70kg
使用電源（消費電力）	単相AC 200V 20A（4KVA）
使用環境	温度：23℃　±5℃、湿度：80以下
保存環境	温度：0〜40℃、　　 湿度：80以下
外形寸法	約2120（W）×1960（H)×700（D）　(mm)